近期，中微公司創(chuàng )收人、董事長(cháng)兼CEO尹志堯，拓荊科技董事長(cháng)呂光泉，華海清科董事、總經(jīng)理張國銘，中科飛測董事長(cháng)、總經(jīng)理陳魯，這四位半導體設備領(lǐng)域上市公司CEO，在上海證券交易所聯(lián)合舉行的科創(chuàng )板開(kāi)市五周年之際，參加了《滬市匯·硬科硬客》第十期節目“半導體設備突圍關(guān)鍵局”活動(dòng)，探討了國產(chǎn)半導體設備的自主可控之路。

　　

 

　　△從左至右：廣發(fā)證券發(fā)展研究中心總經(jīng)理許興軍，拓荊科技董事長(cháng)呂光泉，中微公司董事長(cháng)尹志堯，華海清科總經(jīng)理張國銘，中科飛測董事長(cháng)陳魯

　　中外實(shí)力差距巨大，唯有快速迭代才有機會(huì )

　　近年來(lái)，中美科技戰愈演愈烈，中國半導體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)成為了美國持續打壓的重點(diǎn)，特別是在2022年10月美國出臺對華半導體限制新規之后，美國更是拉攏日本和荷蘭，將先進(jìn)制程芯片制造所需的關(guān)鍵半導體設備全及零部件都列入了對華出口限制。由于全球半導體設備市場(chǎng)主要被美國、日本和荷蘭企業(yè)所占據，因此，美日荷的聯(lián)合對華半導體設備出口管制，也極大的制約了中國半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。在此背景之下，相關(guān)半導體設備及零部件的國產(chǎn)化自然也就成為了國內最為關(guān)注的議題，同時(shí)也成為國產(chǎn)半導體設備廠(chǎng)商努力突破的方向。

　　根據研究機構的數據顯示，全球前十五大半導體設備廠(chǎng)商當中，美國和日本廠(chǎng)商占據了大部分，比如美國的應用材料、泛林集團、科磊等，日本的東京電子、愛(ài)德萬(wàn)等，此外荷蘭雖然只有ASML和ASMI兩家企業(yè)上榜，但是其中ASML則是全球最大的光刻機廠(chǎng)商，也是全球唯一的EUV光刻機供應商。

　　作為國產(chǎn)半導體檢測和量測設備龍頭，中科飛測董事長(cháng)陳魯也指出，在半導體檢測和量測設備領(lǐng)域，美國科磊具有壟斷性?xún)?yōu)勢。VLSI數據統計，2023年全球半導體檢測和量測設備市場(chǎng)規模達到128.3 億美元，其中科磊一家合計市場(chǎng)份額占比達到55.8%。

　　相比之下，中國半導體設備廠(chǎng)商雖然數量眾多，但是不論是在技術(shù)實(shí)力、業(yè)務(wù)及營(yíng)收規模、產(chǎn)品品質(zhì)方面都存在著(zhù)巨大的差距。同樣，在陳魯看來(lái)，中國半導體設備企業(yè)與海外半導體巨頭競爭有三大劣勢，“歷史不如別人，規模不如別人，最后一個(gè)品牌知名程度，也不如對方”。

　　因此，陳魯認為，中國企業(yè)需要通過(guò)快速迭代已有的研發(fā)設備來(lái)進(jìn)行追趕。比如，一種設備通過(guò)不到10年的時(shí)間能夠走過(guò)國外設備廠(chǎng)商可能過(guò)去幾十年才走完的研發(fā)道路，從售前、研發(fā)、售后形成閉環(huán)的快速迭代，才有可能追趕上國外壟斷性設備廠(chǎng)商。這也是中科飛測近年來(lái)迅速成為國內規模最大、研發(fā)實(shí)力最強、設備種類(lèi)最多的半導體量檢測設備企業(yè)，并且設備的各項性能指標都能夠對標海外壟斷企業(yè)，在國內市場(chǎng)與海外壟斷企業(yè)形成全面競爭的秘訣。

　　“這個(gè)行業(yè)多年來(lái)一直在不斷地更新迭代，每一兩年就要迭代一次，每次迭代都會(huì )帶來(lái)技術(shù)上或其他地方的調整。也正是這些挑戰激勵著(zhù)我們一直堅持了下來(lái)。”國產(chǎn)薄膜沉積設備大廠(chǎng)拓荊科技董事長(cháng)呂光泉也持有類(lèi)似的觀(guān)點(diǎn)：“從優(yōu)勢來(lái)講，我們更貼近客戶(hù)，能夠更直接地參與到他們的研發(fā)、生產(chǎn)，能夠給他們做一些定制化的設備以及工藝材料，我們一個(gè)最大的優(yōu)勢是響應速度快。如果說(shuō)劣勢，就是我們的起步晚，這個(gè)差距還是需要應用場(chǎng)景來(lái)給我們提供機會(huì )快速迭代，繼續往前追趕。”

　　自主研發(fā)+供應鏈本地化

　　雖然目前國內對于美日荷的半導體設備依然存在較大的依賴(lài)，但是得益于中國龐大的本土需求，國產(chǎn)半導體設備廠(chǎng)商也迎來(lái)了高速發(fā)展的機遇。根據SEMI的統計，2023年，中國大陸半導體設備銷(xiāo)售額為366億美元，連續第四年成為全球最大的半導體設備市場(chǎng)。

　　國產(chǎn)CMP設備大廠(chǎng)華海清科總經(jīng)理張國銘也表示，中國芯片市場(chǎng)還是非常巨大，2023年，全球大約2000多億美元對中國芯片半導體的市場(chǎng)需求，但其中70%-80%依然依賴(lài)進(jìn)口，因此，如果芯片制造往中國偏移的話(huà)，將會(huì )帶動(dòng)全球半導體設備制造中心逐步向中國大陸轉移，會(huì )推動(dòng)國內半導體設備廠(chǎng)技術(shù)升級和創(chuàng )新，也會(huì )進(jìn)一步完善國內產(chǎn)業(yè)鏈。”

　　而對于國產(chǎn)半導體設備廠(chǎng)商來(lái)說(shuō)，這是一個(gè)巨大的市場(chǎng)機遇，同時(shí)也是帶來(lái)了很多的挑戰：設備技術(shù)的快速迭代是一方面;另一方面，供應鏈的本地化，特別是零部件的自主可控則是一個(gè)巨大的挑戰。

　　中微公司董事長(cháng)尹志堯表示，“本土化這個(gè)事情是沒(méi)有辦法的選擇，因為理想狀態(tài)下，全球集成電路產(chǎn)業(yè)應該是互相協(xié)同的，因為它牽扯到幾千個(gè)步驟，上下游產(chǎn)業(yè)鏈非常之強，很少有一個(gè)國家或者一個(gè)企業(yè)從上到下全部打通的。但是在目前的國際形勢緊張情況下，這是我們沒(méi)有辦法的選擇，但對我們來(lái)講也是一個(gè)激勵，看我們有沒(méi)有能力在這么短時(shí)間內能不能真正把本土化做好。”

　　呂光泉進(jìn)一步指出，半導體設備非常特殊，幾乎每一個(gè)零部件都有定制化的成分在里頭，因而公司與供應商的合作非常密切。“我們甚至不叫他們供應商，而是合作伙伴。研發(fā)階段就要把伙伴帶進(jìn)來(lái)，讓他們幫我們設計開(kāi)發(fā)，一起來(lái)驗證。”呂光泉指出，這種合作是長(cháng)期的、連續不間斷的。

　　在拓荊科技設備的自主可控方面，呂光泉表示，目前拓荊科技的產(chǎn)品已經(jīng)100%覆蓋了目前國內生產(chǎn)線(xiàn)的技術(shù)節點(diǎn)，成熟量產(chǎn)的設備性能指標均達到國際同類(lèi)設備先進(jìn)水平。后續會(huì )跟客戶(hù)合作更加緊密，往更先進(jìn)的技術(shù)節點(diǎn)去推進(jìn)。其中，面向成熟制程的產(chǎn)品都能夠達到自主可控，一些面向 先進(jìn)制程的產(chǎn)品的自主可控還需要時(shí)間。

　　中科飛測董事長(cháng)陳魯也認為，任何一個(gè)半導體設備的升級換代，不斷向高端方向前進(jìn)，都是設備企業(yè)和設備上游的所有零部件企業(yè)共同努力的結果。“我們不僅需要及時(shí)吻合零部件與機臺的推出時(shí)間，還需要供應商跟我們去完成下一代產(chǎn)品中零部件的研發(fā)。

　　但是，由于檢測設備所需要的零部件跟制程設備不太一樣，因此國內在這方面的零部件供應鏈比較薄弱。“我們很早就開(kāi)始做這方面的工作了，也有在自研零部件。”陳魯說(shuō)道。

　　同樣，CMP設備所需的很多核心零部件國內也買(mǎi)不到。華海清科總經(jīng)理張國銘指出：“我們的競爭對手所需的核心零部件都是自己做的，不是買(mǎi)的第三方的，他們也不對外賣(mài)。所以華海清科從開(kāi)始的時(shí)候，就必須得自己去攻克，如果不攻克，我們的設備就賣(mài)不出去。所以這一部分的核心零部件，那我們一直在持續研發(fā)和迭代，現在的進(jìn)展比較理想，應該沒(méi)有什么卡殼的問(wèn)題或者存在很大的風(fēng)險。對于其他類(lèi)型的零部件，我們做本地化供應、或者安全供應鏈的工作也比較早，其實(shí)很早就把它當成一個(gè)重點(diǎn)任務(wù)來(lái)抓了，所以目前進(jìn)展都還比較順利?；緦?shí)現了自主可控。”

　　作為國產(chǎn)半導體刻蝕設備領(lǐng)域的龍頭大廠(chǎng)，中微公司很早就開(kāi)始推動(dòng)零部件的自主可控。在2023年度業(yè)績(jì)說(shuō)明會(huì )上，中微公司董事長(cháng)尹志堯就宣布，中微公司絕大部分刻蝕設備的零部件已實(shí)現國產(chǎn)化或非美化，而且在很短的時(shí)間內，將全面實(shí)現自主可控的基礎。在此次的《滬市匯·硬科硬客》活動(dòng)上，尹志堯進(jìn)一步指出，中微公司主要零部件的自主可控率已達到90%以上，到今年第三季度末可以達到100%。

　　“引進(jìn)來(lái)”與“走出去”

　　正如前面所提及的，整個(gè)半導體設備產(chǎn)業(yè)鏈鏈條非常長(cháng)，涉及的設備種類(lèi)以及所需的零部件種類(lèi)非常的多，要想完全依靠國產(chǎn)廠(chǎng)商全部自己來(lái)做，并且還都要做得很好是非常困難的。因此，我們可以看到，目前國內頭部的這些半導體設備廠(chǎng)商大多也只做到了核心零部件的自研，主要零部件的自主可控與本地化供應鏈的建設，依然存在著(zhù)一些零部件依然無(wú)法實(shí)現自主可控。

　　據中微公司董事長(cháng)尹志堯透露，目前中微公司的刻蝕機上有60%的零部件是國內采購的，在MOCVD設備上的零部件國內采購比例高達80%。但是，這60~80%之中，還有一部分是由國外比較領(lǐng)先的供應廠(chǎng)商在中國的子公司做的，剩下的20-40%則仍依賴(lài)于進(jìn)口，依然是離不開(kāi)國外的供應商。當然，這部分零部件未來(lái)可能也會(huì )受到一些限制，因此國產(chǎn)設備商/零部件商最近兩年也正在解決這些零部件的自主可控問(wèn)題。

　　當然，自主可控并不說(shuō)所有的零部件都必須要自主研發(fā)，也不是只能單純依靠國產(chǎn)廠(chǎng)商來(lái)供應。要知道，我們自主可控的目的是為了避免“卡脖子”的風(fēng)險，但是也不能因此就完全拒絕仍然可以獲取的國外先進(jìn)的技術(shù)，我們不能自己主動(dòng)卡自己的脖子，我們依然需要開(kāi)放合作，團結可以團結的非美系供應商。比如中微公司的設備零部件的自主可控，一分部分就是建立在非美系的國外供應商支持下的。

　　“產(chǎn)業(yè)鏈這么長(cháng)，我們徹底跟外部脫鉤是不可能的。因為脫鉤以后，你也就跟國際最先進(jìn)的技術(shù)也就脫鉤了。所以，在政策合規合法的范圍內，還是要繼續堅持國際合作。另外，下一步我們還是要走出去，走國際化道路(把國產(chǎn)設備推向國際市場(chǎng))，能夠跟國際供應商和客戶(hù)打交道，才能繼續跟著(zhù)世界前沿技術(shù)往前走。”呂光泉說(shuō)道。

　　談及公司未來(lái)3-5年的戰略規劃，呂光泉表示，第一優(yōu)先是繼續聚焦高端半導體設備領(lǐng)域，做大成熟產(chǎn)品的市占率，同時(shí)持續發(fā)展Chiplet業(yè)務(wù)，最終走向更大的國際舞臺。

　　對于進(jìn)入國際市場(chǎng)，尹志堯也表示，“中微在剛建立的時(shí)候，就立志要把我們的設備打到國際市場(chǎng)。進(jìn)行了多年的努力，取得了一定進(jìn)步，雖然這個(gè)進(jìn)步是非常有限的。”尹志堯認為國產(chǎn)設備要想打開(kāi)國際市場(chǎng)有兩條路徑：第一是相比國外同類(lèi)產(chǎn)品，國產(chǎn)產(chǎn)品性能具備相當優(yōu)勢，特別是成本低、輸出量高、效率高;第二是要有勇氣開(kāi)發(fā)出國外沒(méi)有的、“獨此一家”的設備。

　　張國銘亦持類(lèi)似觀(guān)點(diǎn)。他認為，國際市場(chǎng)的開(kāi)拓，還是要看產(chǎn)品的性能，如果我們的產(chǎn)品性能非常好，客戶(hù)自然會(huì )用我們的設備。“華海清科的海外開(kāi)拓，取得了一些初步的成果，未來(lái)這個(gè)方向我們肯定是要堅定地走下去的。”

　　陳魯也指出，當一個(gè)新公司能夠出來(lái)跟老牌的壟斷企業(yè)去競爭的時(shí)候，一定抓住技術(shù)升級換代創(chuàng )新的工藝節點(diǎn)。這可能是國內設備走向海外的一個(gè)重大機會(huì )。

　　“如果我們前面有一個(gè)坡確實(shí)爬不過(guò)去，那就需要繞一繞路，這種繞路的方法就是授權。我們的設備在先進(jìn)封裝、3D集成領(lǐng)域，可以利用這一優(yōu)勢。”呂光泉認為，無(wú)論如何還是要走出去。

　　未來(lái)5-10年內，國產(chǎn)設備有望達到國際先進(jìn)水平

　　盡管近年來(lái)中國半導體設備產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，但是依然是存在很多薄弱環(huán)節，并且現有設備距離國外先進(jìn)水平也還不小的差距。

　　“半導體產(chǎn)業(yè)鏈的國產(chǎn)化趨勢將極大提升國內產(chǎn)業(yè)鏈的整體實(shí)力，對原本薄弱環(huán)節的提升更是能看到大的飛躍。”中科飛測董事長(cháng)陳魯認為，檢測和量測設備領(lǐng)域一直是核心設備中比較薄弱的環(huán)節，國產(chǎn)化率不到10%，未來(lái)還有很大市場(chǎng)提升空間。

　　尹志堯透露，中微的半導體設備雖然即將基本可以實(shí)現自主可控，但是在質(zhì)量和可靠性方面與國外領(lǐng)先水平依然存在一定差距。比如，中微公司的刻蝕機基本上可以覆蓋絕大部分的刻蝕應用，但與客戶(hù)群處在技術(shù)的領(lǐng)先位置的國外廠(chǎng)商相比還差了兩三代，所以還需要整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈追趕上去。

　　在當前芯片生產(chǎn)線(xiàn)上所有設備當中，國產(chǎn)設備占比僅15-30%，特別是光刻系統、離子注入工具和電子束檢測系統方面，是中國最薄弱的領(lǐng)域。中微公司目前也在布局電子束檢測等領(lǐng)域，以解決芯片光刻環(huán)節中的一些薄弱環(huán)節。

　　(芯智訊在雪球平臺上發(fā)現有一位網(wǎng)友爆料稱(chēng)，中微公司為進(jìn)軍電子束檢測領(lǐng)域，挖來(lái)了該領(lǐng)域的一位技術(shù)大牛，因此研發(fā)進(jìn)展很快。)

　　“目前中國已經(jīng)有上百家設備公司，其中包括了20多家成熟的設備公司，大家都在拼命的努力，幾乎涵蓋了半導體十大類(lèi)設備。我們有信心在未來(lái)5-10年的時(shí)間內，達到國際先進(jìn)技術(shù)水平。”尹志堯說(shuō)道。

　　“從芯片設備角度來(lái)說(shuō)，我并沒(méi)有看到技術(shù)不能越過(guò)去的坎，所以還是那句話(huà)，要咬緊牙關(guān)，一步一步有耐心的把它往下做，就可以把它做好。”在尹志堯看來(lái)，國產(chǎn)半導體設備的自主可控依然是任重而道遠。

　　同樣，零部件研發(fā)的過(guò)程是比較艱苦的，要求也很高。“希望每一個(gè)進(jìn)入到集成電路行業(yè)、裝備行業(yè)的零部件廠(chǎng)商都有心理準備，要跟我們一塊去努力、吃苦，跟我們一起去啃這些硬骨頭。”陳魯說(shuō)道。

　　產(chǎn)業(yè)支持政策需要進(jìn)一步細化，引導產(chǎn)業(yè)良性競爭

　　回顧國產(chǎn)半導體設備的發(fā)展歷程，國家及地方政府的針對集成電路產(chǎn)業(yè)的扶持政策、人才引進(jìn)與支持政策，以及大基金、科創(chuàng )板的推出，都起到了非常積極的推動(dòng)作用。

　　“集成電路在國外已持續發(fā)展近40年，我們大力發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)時(shí)，面臨的最大問(wèn)題是不對稱(chēng)競爭。”尹志堯指出，國際大公司的體量是國內幾十甚至上百倍，國內公司研發(fā)經(jīng)費短缺，制程上又落后3-5代。要在極短的時(shí)間內補上短板，開(kāi)發(fā)出70%-80%的半導體設備，需要大量研發(fā)經(jīng)費。

　　“這光靠一家企業(yè)單打獨斗還是不夠的，企業(yè)需要政府各方面的支持，提供研發(fā)資助。”尹志堯同時(shí)表示，“當然，產(chǎn)業(yè)也是仰仗著(zhù)國家改革開(kāi)放，發(fā)展勢頭才如此迅猛，現在已經(jīng)有不下100家設備公司，規模較大的有20多家。”

　　針對逐漸成熟起來(lái)的企業(yè)，呂光泉認為，在稅收政策上需要繼續給予一定扶持。“目前國家已出臺一系列集成電路產(chǎn)業(yè)的稅收優(yōu)惠政策和產(chǎn)業(yè)資金扶持政策，但當前中國大陸半導體設備及產(chǎn)業(yè)鏈上下游均處于快速發(fā)展期，還是希望持續強化該等利好政策，進(jìn)一步刺激產(chǎn)業(yè)發(fā)展。”呂光泉表示。

　　張國銘也指出，“半導體行業(yè)研發(fā)投入非常大，對于一個(gè)上市公司來(lái)講，研發(fā)投入和當期利潤是矛盾的，和市值維護也是矛盾的。”他期待政策上能夠給予更多支持和鼓勵，特別是前瞻性的技術(shù)，應當聚焦，不要“撒芝麻鹽兒”。應該鼓勵企業(yè)積極參與并支持本地產(chǎn)業(yè)化的產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展。這不僅能夠直接促進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈的協(xié)同優(yōu)化，還能間接支持設備企業(yè)的發(fā)展。

　　張國銘還建議，對實(shí)現國產(chǎn)替代及高端制程替代企業(yè)稅收優(yōu)惠或資金支持;出臺人才普惠政策，對高端人才進(jìn)行補貼，減少企業(yè)高端人才成本壓力;對半導體設備企業(yè)支持國產(chǎn)零部件驗證引入補貼等。

　　關(guān)于人才方面，尹志堯認為“有錢(qián)很重要，但人才更重要”。他提到硅谷40年來(lái)開(kāi)發(fā)的至少10種國際先進(jìn)設備中，包括高能等離子刻蝕機，低能等離子刻蝕機等等。“你真正看這些設備時(shí)，誰(shuí)在做呢?其實(shí)百分之七八十都是中國留學(xué)生干起來(lái)的。”

　　得益于國內集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展機遇以及人才政策的吸引，尹志堯表示，其中的大部分設備領(lǐng)域的海外人都已經(jīng)回國了，這些歸國人才在各個(gè)領(lǐng)域發(fā)揮著(zhù)重要作用，與國內專(zhuān)家合作，推動(dòng)了中國半導體設備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

　　近年來(lái)在政策支持，以及政府及社會(huì )資本對于“造芯”的熱捧之下，也不可避免的導致了一些不必要的競爭與資源浪費。呂光泉希望出臺一些規章制度來(lái)限制產(chǎn)業(yè)中的資源浪費，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈良性發(fā)展。

　　“一些社會(huì )資本或地方性資金扶持小企業(yè)，可能會(huì )從頭部企業(yè)挖一堆人過(guò)去，再照抄其產(chǎn)品以極低的價(jià)格來(lái)銷(xiāo)售。這對營(yíng)商環(huán)境是相當不利的，會(huì )成為往前發(fā)展的一個(gè)障礙。”呂光泉說(shuō)道。

　　值得注意的是，今年6月19日，證監會(huì )發(fā)布的《關(guān)于深化科創(chuàng )板改革服務(wù)科技創(chuàng )新和新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)展的八條措施》提出，更大力度支持并購重組。支持科創(chuàng )板上市公司開(kāi)展產(chǎn)業(yè)鏈上下游的并購整合。提高并購重組估值包容性，支持科創(chuàng )板上市公司收購優(yōu)質(zhì)未盈利“硬科技”企業(yè)。

　　對此政策，陳魯也表示歡迎，“希望‘科創(chuàng )板八條’提到的支持并購重組，能夠具體地一步步落實(shí)。”陳魯認為，對半導體設備不同細分市場(chǎng)的龍頭企業(yè)來(lái)說(shuō)，這一點(diǎn)可能是至關(guān)重要的。
 

　　編輯：芯智訊-浪客劍
 

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